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编辑推荐:本文通过典型的表面清洁和低温退火工艺在大气条件下直接将氧等离子体活化的InP 基板键合在NH3/H2O2处理过的金刚石衬底上,以实现高效散热,为下一代高频和高功率操作的InP器件晶体管的制备提供了先进的热管理。
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