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科技工作者之家 2020-03-16
来源:中国高科技
近日,国际标准化组织(ISO)正式发布了微束分析领域中的一项国际标准:“基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法”(Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)),该标准由中国科学院科学家团队——中科大物理学院和微尺度物质科学国家研究中心的丁泽军团队主导制定,是半导体线宽测量方面的首个国际标准,也是半导体检测领域由中国主导制定的首个国际标准,该标准的发布有助于促进半导体评测技术的发展,并提升我国在半导体行业的国际影响力和竞争力。来源:cas-hitech 中国高科技
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