1988.09--1992.06 兰州大学物理系本科生 1992.09--1995.06 兰州大学物理系硕士研究生 1995.09--2000.01 清华大学物理系固体物理研究所博士研究生 2000.04--2002.07 清华大学力学系博士后 2002.07--2003.07 中国科学院电工研究所工作 2003.07--2007.12 中国科学院电工研究所电子束曝光技术研究组组长 2007.12--2016.04 中国科学院电工研究所所长助理、微纳加工技术研究部主任 2016.04--2017.08 中国科学院电工研究所所长助理、代理科技处处长、微纳加工技术研究部主任 2017.08--2017.12 中国科学院电工研究所副所长、代理科技处处长、微纳加工技术研究部主任 2017.12-- 中国科学院电工研究所副所长、微纳加工技术研究部主任 研究方向为微纳加工技术及智能电气设备.
半导体技术,电加工技术
中国科学院电工研究所
半导体技术
半导体超晶格国家重点实验室
半导体器件与技术,机电一体化技术
北京大学微电子学研究院
北京工业大学电子信息与控制工程学院
聚合物基复合材料,半导体材料
北京工业大学材料科学与工程学院
北京工业大学VLSI实验室
材料科学,半导体材料
北京航空航天大学物理科学与核能工程学院
半导体材料
北京工业大学应用数理学院
您还未进行实名认证,请前往进行实名认证。