摘要:
本发明公开了一种电容型压力传感器及其制备方法,所述电容型压力传感器包括底电极、顶电极、第一介电层、第二介电层及两个支撑部,所述第一介电层、第二介电层、两个支撑部均位于所述底电极与所述顶电极之间,所述两个支撑部位于所述底电极的两端,第一介电层、第二介电层分别位于两个支撑部之间且第一介电层位于第二介电层与顶电极之间,第二介电层的介电常数大于第一介电层的介电常数,第一介电层为空气层或薄膜.本发明提供的电容型压力传感器通过设置两层介电层,这样可以增加电容型压力传感器的介电常数,从而增加电容型压力传感器的电容值变化率,提升了电容型压力传感器的灵敏度和检测范围.