一种用电火花结合离子束增强沉积复合改性钛合金表面的方法

• 摘要：

  本发明公开了一种用电火花结合离子束增强沉积复合改性钛合金表面的方法,包括下述步骤:用有机溶剂在超声波作用下进行清洗,清洗时间为5~10min;将经过时效处理后的钛合金用电火花表面强化器强化处理,处理过程Ar气保护,Ar气流量为8L/min;电极材料为硅青铜或者YG-8型硬质合金;用离子束增强沉积磁控溅射和多弧设备,在经过电火花强化处理过的钛合金表面用氩离子轰击清洗8~12min,沉积过程中也要用氩离子不断轰击已沉积的膜层,沉积用靶材为硅青铜.由于采用了电火花表面强化与离子束沉积结合方法,先在钛合金表面电火花处理形成硬度和耐磨性高的底层,然后在底层上利用离子束沉积形成具有减摩润滑效果的膜层,可以在提高表面硬度同时减小摩擦系数.

• 专利类型：

  发明专利

• 申请/专利号：

  CN200610042880.4

• 申请日期：

  2006.05.29

• 公开/公告号：

  CN1851058

• 公开/公告日：

  2006-10-25

• 发明人：

  乔生儒 刘道新 李平 王少鹏 张丽丽 张程煜 韩栋

• 申请人：

  西北工业大学

• 主分类号：

  C23F17/00(2006.01)I,C,C23,C23F,C23F17

• 分类号：

  C23F17/00(2006.01)I,C22F1/18(2006.01)I,C21D1/06(2006.01)I,C23G5/02(2006.01)I,C23C14/35(2006.01)I,C,C23,C22,C21,C23F,C22F,C21D,C23G,C23C,C23F17,C22F1,C21D1,C23G5,C23C14,C23F17/00,C22F1/18,C21D1/06,C23G5/02,C23C14/35

• 主权项：

  权利要求书1、一种用电火花结合离子束增强沉积复合改性钛合金表面的方法,其特征在于,包括下述步骤:1)用有机溶剂在超声波作用下进行清洗,清洗时间为5~10min;2)将经过时效处理后的钛合金用电火花表面强化器强化处理,处理过程Ar气保护,Ar气流量为8L/min;电极材料为硅青铜或者YG-8型硬质合金;3)用离子束增强沉积磁控溅射和多弧设备,在经过电火花强化处理过的钛合金表面用氩离子轰击清洗8~12min,沉积过程中也要用氩离子不断轰击已沉积的膜层,沉积用靶材为硅青铜.