• 一种超高纯铝细晶、高取向靶材的制备方法

    • 摘要:

      本发明涉及合金材料领域,具体涉及一种超高纯铝细晶、高取向靶材的制备方法.包括:将超高纯铝铸锭进行500~630℃高温均匀化退火,消除铸造内应力,细化铸态组织;在150℃~300℃对超高纯铝铸锭进行多道次多向锻造,在不改变铸锭形状的前提下获得大应变,细化超高纯铝晶粒;将多向锻造后工件置于冰水中冷却到0℃~5℃后进行冷轧,道次压下量控制在5%~30%,通过对板材进行道次间冰水冷却控制板材轧制过程的温升,抑制板材的再结晶.最后进行50℃~250℃的低温退火.采用此方法可以生产厚度为5mm~25mm,平均晶粒尺寸£200um,晶粒取向以(200)方向为主的靶材,且该靶材在200℃工作时组织稳定.

    • 专利类型:

      发明专利

    • 申请/专利号:

      CN201010561385.0

    • 申请日期:

      2010.11.27

    • 公开/公告号:

      CN102002653A

    • 公开/公告日:

      2011-04-06

    • 发明人:

      班春燕 朱庆丰 崔建忠

    • 申请人:

      东北大学

    • 主分类号:

      C22F1/04(2006.01)I,C,C22,C22F,C22F1

    • 分类号:

      C22F1/04(2006.01)I,C23C14/14(2006.01)I,C,C22,C23,C22F,C23C,C22F1,C23C14,C22F1/04,C23C14/14

    • 主权项:

      一种超高纯铝细晶、高取向靶材的制备方法,其特征在于包括以下步骤:首先将通过铸造得到的纯度大于99.9995wt%的超高纯铝铸锭,在500~630℃条件下进行退火处理,退火时间2~18小时,退火后空冷到室温;然后将退火处理后的超高纯铝铸锭加热到150~300℃,保温3小时后,置于压力机砧头上,先经过两道次锻造将铸锭锻成长方体工件,其中X为工件的长边,Y为工件的宽边,Z为工件的高边,再进行12~18道次的多向锻造,形成高纯铝工件;随后将锻后工件放入冰水中冷却至0℃~5℃后进行冷轧,每完成1道次轧制后将工件放入冰水中冷却至0℃~5℃,再进行下一道次轧制和冷却,道次压下量控制在5~30%,总变形量在70%以上,得到超高纯铝靶材;最后在温度50~250℃条件下对超高纯铝靶材进行再结晶退火,退火时间30~240分钟,获得超高纯铝细晶、高取向靶材.