一种用于光刻设备中的光束稳定装置

• 摘要：

  本发明是一种光刻设备中的光束稳定装置,是光刻设备的照明单元中稳定照明光束的位置和指向角度的装置,所述光束稳定装置包括一个光束稳定探测装置和光束稳定调节装置,光束稳定探测装置和光束稳定调节装置位于光刻设备中光源和光刻设备照明单元之间;光束稳定探测装置的输入端与光源连接,光束稳定探测装置接收光源输出的光束,用于探测实际光束与光刻设备的系统光轴之间的位置和指向偏差;光束稳定调节装置的输入端与光束稳定探测装置的输出端连接,根据光束稳定探测装置的位置信号,通过调节运动将光束调整到位置和指向与光刻设备的系统光轴一致.

• 专利类型：

  发明专利

• 申请/专利号：

  CN201010582736.6

• 申请日期：

  2010.12.06

• 公开/公告号：

  CN102103329A

• 公开/公告日：

  2011-06-22

• 发明人：

  王建 赵立新 徐文祥 严伟 胡松

• 申请人：

  中国科学院光电技术研究所

• 主分类号：

  G03F7/20(2006.01)I,G,G03,G03F,G03F7

• 分类号：

  G03F7/20(2006.01)I,G02B27/10(2006.01)I,G02B26/08(2006.01)I,G,G03,G02,G03F,G02B,G03F7,G02B27,G02B26,G03F7/20,G02B27/10,G02B26/08

• 主权项：

  一种光刻设备中的光束稳定装置,其特征在于,所述光束稳定装置包括一个光束稳定探测装置(7)和光束稳定调节装置(8),光束稳定探测装置(7)和光束稳定调节装置(8)位于光刻设备中光源(1)和光刻设备照明单元(2)之间;光束稳定探测装置(7)的输入端与光源(1)连接,光束稳定探测装置(7)接收光源(1)输出的光束,用于探测实际光束与光刻设备的系统光轴之间的位置和指向偏差;光束稳定调节装置(8)的输入端与光束稳定探测装置(7)的输出端连接,根据光束稳定探测装置(7)的位置信号,通过调节运动将光束调整到位置和指向与光刻设备的系统光轴一致.