制备(Ti,Al)BN陶瓷基非晶-纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺

• 摘要：

  制备(Ti,Al)BN陶瓷基非晶-纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺,步骤为:首先进行双阴极等离子溅射沉积;然后进行离子氮化;溅射的靶材的种类:以热等静压工艺制备的成分质量配比为Ti:B:Al=6:3:1粉末冶金烧结板;工件材料的种类:钛合金.本发明利用双阴极等离子溅射技术,通过调整靶材的成分和气体之间的比例,实现了原位生成(Ti,Al)BN非晶-纳米晶复合涂层.简化了制备工艺,提高了涂层整体性能.

• 专利类型：

  发明专利

• 申请/专利号：

  CN201210132842.3

• 申请日期：

  2012.04.28

• 公开/公告号：

  CN102660732A

• 公开/公告日：

  2012-09-12

• 发明人：

  徐江

• 申请人：

  南京航空航天大学

• 主分类号：

  C23C14/36(2006.01)I,C,C23,C23C,C23C14

• 分类号：

  C23C14/36(2006.01)I,C23C14/06(2006.01)I,C23C14/14(2006.01)I,C23C8/36(2006.01)I,C,C23,C23C,C23C14,C23C8,C23C14/36,C23C14/06,C23C14/14,C23C8/36

• 主权项：

  制备?(Ti,Al)BN陶瓷基非晶?纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺,其特征在于步骤为:a.?首先进行双阴极等离子溅射沉积,工艺参数如下:靶材电压500~1000?V,工件电压300~450?V,靶材与工件间距10~30?mm,工作气压20~45Pa,沉积温度450~650℃;b.?然后进行离子氮化,工艺参数如下:?工件电压650~850V,氮化温度450~600℃,工作气压20~45Pa,氮分压0.1?1?Pa;离子氮化1~2小时;?c.溅射的靶材的种类:以热等静压工艺制备的成分质量配比为Ti:B:Al=6:3:1粉末冶金烧结板;d.?工件材料的种类:钛合金.