本发明涉及一种适用于原子力显微镜(AFM)的金属探针制备方法,具备成本低、成功率高、针尖用途广泛等优点.制作的主要步骤:第一,电化学刻蚀金属丝,获得末端尖锐的针尖;第二,采用硅片或多晶蓝宝石片压平靠近针尖末端的金属丝,压平的部分将作为AFM探针的悬臂;第三,将针尖末端弯折一定角度,弯折的部分将作为AFM探针的针尖;第四,用胶水将悬臂粘接到特定的基片上.这种方法可以制作金、银等多种材料的金属探针,末端尖锐,导电性能好,适用于AFM、基于AFM的各种电学测量技术(比如静电力显微镜)以及基于AFM的针尖增强拉曼光谱技术等.
发明专利
CN201410347444.2
2014.07.21
CN104071746A
2014-10-01
任斌 李茂华
厦门大学
B82B3/00(2006.01)I,B,B82,B82B,B82B3
B82B3/00(2006.01)I,G01Q60/38(2010.01)I,B,G,B82,G01,B82B,G01Q,B82B3,G01Q60,B82B3/00,G01Q60/38
一种适用于原子力显微镜的金属探针制备方法,包括以下步骤:第一,电化学刻蚀金属丝(1),获得末端尖锐的针尖(2);第二,采用硅片或多晶蓝宝石片(3)压平靠近针尖末端的金属丝,在光学显微镜的辅助下控制压平金属丝时的预留长度,预留长度为50‑5000微米,压平的部分将作为AFM探针的悬臂(4);第三,采用镊子或者刀片(5),在光学显微镜的辅助下,将针尖末端弯折45‑90°,弯折的部分作为AFM探针的针尖;第四,用胶水(6)将悬臂粘接到特定的基片(7)上.