一种双阴极竖直旋转微电铸装置

• 摘要：

  本发明公开了一种双阴极竖直旋转微电铸装置,结构包括电机(1)、电铸槽(3)、双阴极夹具单元(4)和电源(5),电机(1)通过竖直旋转轴(2)与双阴极夹具单元(4)连接,双阴极夹具单元(4)安放在电铸槽(3)中,电源阴极和阳极分别与电解阴极(4f)和电解阳极(4k)连接,电铸槽(3)用于放置电铸液,电机(1)提供双阴极夹具单元(4)旋转所需的力矩,电源(5)提供电铸电能.本发明可实现平面阴极微电铸工艺中阴极绕竖直轴旋转,以减少析氢、杂质吸附等带来的铸件缺陷,增加电铸液扰动效果,改善离子传质条件,且一次电铸实验过程中成型两个工艺条件相同的铸件.

• 专利类型：

  发明专利

• 申请/专利号：

  CN201610166046.X

• 申请日期：

  2016.03.22

• 公开/公告号：

  CN105648479A

• 公开/公告日：

  2016-06-08

• 发明人：

  蒋炳炎 黎醒 翁灿 董彦灼

• 申请人：

  中南大学

• 主分类号：

  C25D1/00(2006.01)I,C,C25,C25D,C25D1

• 分类号：

  C25D1/00(2006.01)I,C,C25,C25D,C25D1,C25D1/00

• 主权项：

  一种双阴极竖直旋转微电铸装置,包括电铸槽(3)、电源(5)、电机(1)、电解阴极(4f)和电解阳极(4k),其特征是:所述的电机(1)通过竖直旋转轴(2)与双阴极夹具单元(4)传动连接,所述的双阴极夹具单元(4)安放在所述的电铸槽(3)中;所述的双阴极夹具单元(4)由一块上固定板(4a)、一块下固定板(4d)、两块阴极安装板(4b)、两块阴极固定板(4g)和一块阳极安装板(4c)组成,所述的竖直旋转轴(2)与所述的上固定板(4a)上端连接,所述的阳极安装板(4c)上端竖直安装在上固定板(4a)中间部位,所述的阳极安装板(4c)下端竖直安装在所述的下固定板(4d)中间部位,所述的阳极安装板(4c)上固定安装所述的电解阳极(4k),两块所述的阴极安装板(4b)相对于所述的阳极安装板(4c)平行安装在所述的阳极安装板(4c)的两侧,两块所述的阴极安装板(4b)上端分别与所述的上固定板(4a)连接,下端分别与所述的下固定板(4d)连接,两块电解阴极(4f)分别安装在两块所述的阴极安装板(4b)面对所述的阳极安装板(4c)的一侧且夹在所述的阴极安装板(4b)与阴极固定板(4g)中间,所述的阴极固定板(4g)与所述的阴极安装板(4b)相对固定;所述的电源(5)的阴极和阳极分别与所述的双阴极夹具单元(4)的所述的电解阴极(4f)和电解阳极(4k)电连接.