一种具有生物活性的Ta₂N纳米晶涂层及其制备方法

• 摘要：

  一种具有生物活性的Ta₂N纳米晶涂层及其制备方法.该涂层由大小8‑20 nm的Ta₂N纳米晶粒组成,平均晶粒尺寸约为12.8 nm,在Hanks溶液中37℃下浸泡一周后后表面被磷灰石覆盖.采用双阴极等离子溅射沉积技术,在预处理过的医用钛合金工件表面原位沉积Ta₂N纳米晶涂层,其中:a.靶材电压800~1000 V,工件电压250~400 V,靶材与工件间距10~20 mm,Ar气压25~40 Pa,N₂分压1.0~2.5 Pa,沉积温度750~950 ℃,沉积时间 1.0~2.0 h;b.溅射靶材的种类:纯度为大于99.9%的商用纯Ta.本发明涂层提高医用钛合金的耐磨性、抗腐蚀性和生物活性.

• 专利类型：

  发明专利

• 申请/专利号：

  CN201610498729.5

• 申请日期：

  2016.06.30

• 公开/公告号：

  CN105951048A

• 公开/公告日：

  2016-09-21

• 发明人：

  徐江 刘林林 蒋书运

• 申请人：

  南京航空航天大学

• 主分类号：

  C23C14/34(2006.01)I,C,C23,C23C,C23C14

• 分类号：

  C23C14/34(2006.01)I,C23C14/06(2006.01)I,A61L27/30(2006.01)I,A61L27/06(2006.01)I,A61L27/54(2006.01)I,C,A,C23,A61,C23C,A61L,C23C14,A61L27,C23C14/34,C23C14/06,A61L27/30,A61L27/06,A61L27/54

• 主权项：

  一种具有生物活性的Ta₂N纳米晶涂层,其特征在于,所述涂层由大小8‑20 nm的Ta₂N纳米晶粒组成,平均晶粒尺寸约为12.8 nm,在Hanks溶液中37℃下浸泡一周后的表面被磷灰石覆盖.