一种嵌有含氟聚合物的二氧化氮传感器及其制备方法

• 摘要：

  本发明公开了一种嵌有含氟聚合物的二氧化氮传感器及其制备方法,它包括从下到上依次设置的衬底、栅电极、绝缘层、含氟聚合物层、钝化层、有机半导体层、源电极和漏电极层,所述含氟聚合物层由以下重量百分比的原料构成:含氟聚合物材料98％‑99.9％、空穴传输材料0.1％~2％;所述钝化层由聚合物绝缘材料构成;所述有机半导体层由n型有机半导体构成;本发明通过引入含氟聚合物层提高器件稳定性及其对二氧化氮的检测能力;相对于其他同类有机薄膜晶体管气体传感器,该传感器响应速度快,对有机半导体依赖较低,对基板及栅电极平整度要求不高,且无需后续封装方法,更适宜大规模、快速产业化生产.

• 专利类型：

  发明专利

• 申请/专利号：

  CN201610548770.9

• 申请日期：

  2016.07.13

• 公开/公告号：

  CN106226378A

• 公开/公告日：

  2016-12-14

• 发明人：

  于军胜 韩世蛟 范惠东 郑华靖

• 申请人：

  电子科技大学

• 主分类号：

  G01N27/414(2006.01)I,G,G01,G01N,G01N27

• 分类号：

  G01N27/414(2006.01)I,G,G01,G01N,G01N27,G01N27/414

• 主权项：

  一种嵌有含氟聚合物的二氧化氮传感器,其特征在于,它包括从下到上依次设置的衬底、栅电极、绝缘层、含氟聚合物层、钝化层、有机半导体层、源电极和漏电极层,所述含氟聚合物层由以下重量百分比的原料构成:含氟聚合物材料98％‑99.9％、空穴传输材料0.1％~2％.