一种双层钼薄膜及其制备方法、薄膜太阳能电池

• 摘要：

  本发明涉及一种薄膜太阳能电池用双层钼薄膜及其制备方法、薄膜太阳能电池,属于太阳能电池技术领域.本发明的薄膜太阳能电池用双层钼薄膜的制备方法,包括如下步骤:1)通过射频溅射法在基底上沉积形成钼薄膜底层;2)通过直流溅射法在第一钼薄膜层上沉积形成钼薄膜顶层.本发明的双层钼薄膜的制备方法简单高效,工作效率高,工作成本低.利用本发明的方法所制备的双层钼薄膜兼具高导电性及高反射率的优点,在提高薄膜太阳能电池的转化效率方面具有很高的使用价值.

• 专利类型：

  发明专利

• 申请/专利号：

  CN201810444668.3

• 申请日期：

  2018.05.10

• 公开/公告号：

  CN108511328A

• 公开/公告日：

  2018-09-07

• 发明人：

  谢敬佩 赵海丽 毛爱霞 苌清华 马窦琴 陈艳芳 梁婷婷 王爱琴 王文焱

• 申请人：

  河南科技大学

• 主分类号：

  H01L21/02(2006.01)I,H,H01,H01L,H01L21

• 分类号：

  H01L21/02(2006.01)I,H01L31/18(2006.01)I,H,H01,H01L,H01L21,H01L31,H01L21/02,H01L31/18

• 主权项：

  1.一种薄膜太阳能电池用双层钼薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:1)通过射频溅射法在基底上沉积形成钼薄膜底层;2)通过直流溅射法在第一钼薄膜层上沉积形成钼薄膜顶层.