一种振镜式激光扫描系统

• 摘要：

  本发明公开了一种振镜式激光扫描系统,包括激光器、聚焦模块、X轴扫描头和Y轴扫描头.激光束通过聚焦模块,经X轴扫描头和Y轴扫描头到达焦点工作平面,所述X轴扫描头(4)和Y轴扫描头(5)均由全数字交流伺服电机(7、9)和附在其转轴上的镜片(8、10)组成,全数字交流伺服电机(7、9)的转轴上设置有限位装置;控制系统(15)通过二个全数字交流伺服电机的控制器(12、13)分别控制镜片(8、10)在X轴和Y轴上移动,实现二维扫描.增设动态聚焦模块后,可实现三维扫描.本发明构成的激光扫描系统结构简单,精度更高、扫描速度更快、可靠性更高、成本更低,克服模拟式温漂.

• 专利类型：

  发明专利

• 申请/专利号：

  CN200310111572.9

• 申请日期：

  2003.12.12

• 公开/公告号：

  CN1547055

• 公开/公告日：

  2004-11-17

• 发明人：

  黄树槐 史玉升 叶春生 陈国清 谢军 文世峰

• 申请人：

  华中科技大学

• 主分类号：

  G02B26/10,G,G02,G02B,G02B26

• 分类号：

  G02B26/10,G02B3/00,H01S3/00,G,H,G02,H01,G02B,H01S,G02B26,G02B3,H01S3

• 主权项：

  1、一种振镜式激光扫描系统,包括激光器、聚焦模块、X轴扫描头和Y轴扫描头,激光束通过聚焦模块,经X轴扫描头和Y轴扫描头到达焦点工作平面,其特征在于:所述X轴扫描头(4)和Y轴扫描头(5)均由全数字交流伺服电机(7、9)和附在其转轴上的镜片(8、10)组成,全数字交流伺服电机(7、9)的转轴上设置有限位装置;控制系统(15)通过二个全数字交流伺服电机的控制器(12、13)分别控制镜片(8、10)在X轴和Y轴上移动,实现二维扫描.