本实用新型涉及一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置,包括籽晶杆,籽晶杆用于固定籽晶;其中还包括:一X-Y二维位移调节装置;一Z轴倾角调节装置;及所述的X-Y二维位移调节装置的任一端与所述的Z轴倾角调节装置相连,构成X、Y、Z方位调节装置,该方位调节装置的任一端与籽晶杆相连,另一端与晶体生长设备的轴杆相连;本实用新型既可以调节籽晶的中心位置又可以调节其倾角,并且操作方便、可靠、省时和重复性好、设计小巧,即使在浮区单晶炉直径为φ20的狭小空间中也能正常使用.
实用新型
CN02244311.8
2002.08.07
CN2556210
2003-06-18
周放 吴祖安 遆文新 熊季午
中国科学院物理研究所
C30B35/00,C,C30,C30B,C30B35
C30B35/00,C,C30,C30B,C30B35
权利要求书1、一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置,包括籽晶杆,籽晶杆用于固定籽晶;其特征在于还包括:-一X-Y二维位移调节装置;-一Z轴倾角调节装置;及所述的X-Y二维位移调节装置的任一端与所述的Z轴倾角调节装置相连,构成X、Y、Z方位调节装置,该方位调节装置的任一端与籽晶杆相连,另一端与晶体生长设备的轴杆相连.