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来源：中科院高能所
1990年6月8日，在同步辐射实验室的软X线光刻束线上，应用自制的掩模，成功地进行了我国第一次同步辐射光刻实验。
高能所与光机所、微电子所合作，在北京正负电子对撞机同步辐射实验室，用微电子中心研制的X射线光刻掩膜和同步辐射光刻束线成功进行我国第一次同步辐射光刻实验。
来源：casihep 中科院高能所
原文链接：http://mp.weixin.qq.com/s?__biz=MzA3NDQwMDUxMg==&mid=2651467132&idx=3&sn=f062f86ef8b42c93067bec1f15fdad51&chksm=84fedb13b38952058e71ce5da751a1426dadba61baa90fabc9d2afcf461d88b27b7be8822d31&scene=27#wechat_redirect
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