CSMNT2017分会场特邀报告人相关介绍（十一）

分会场十一“微纳米技术应用”

主席：黄庆安（东南大学）           主持人：周再发（东南大学）

时间：2017年10月29日上午         地  点：百合厅1 

主题报告人：李铁

报告人单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

报告题目：从MEMS到微纳制造与微纳传感器

特邀报告人：乔大勇

报告人单位：西北工业大学

报告题目：MEMS微振镜及其在三维测量中的应用

特邀报告人：陈健

报告人单位：中科院电子所

报告题目：高性能MEMS电化学地震检波器关键技术及应用

特邀报告人：潘力佳

报告人单位：南京大学

报告题目：聚合物掺杂调控及其在微纳米器件中的应用

特邀报告人：张涛

报告人单位：西安科技大学

报告题目：Research on High Piezoelectricity and Mechanical Quality PZT Based Ferroelectric Thin Film for Micro- SAW Device Fabrication