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来源：中国机械工程学会
光刻大佬一声吼，全球半导体抖三抖。荷兰ASML公司拥有世界上最好的芯片制造的核心设备--EUV极紫外光刻。用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。
阿斯麦是欧洲人均科研经费排名第二的高科技公司。高端光刻机市场ASML目前没有其他对手，最先进的 EUV 光刻机全球仅仅 ASML 能够生产，门槛极高，一台设备售价高达1亿美元以上，年出货量很有限，2018年在20台左右。
今天，我们将来到ASML荷兰费尔德霍芬（Veldhoven）总部，走进EUV光刻机无尘车间，感受世界上最精密昂贵的芯片加工设备的生产环境有多么的严苛！
EUV无尘车间高级经理
将为我们介绍其中的部分环节
（由e-works翻译整理制作）
从视频中，我们看到了一些关键信息：
○ 车间入场需全副“武装”：整套入场服包含：头罩、无尘服、袜子、鞋子、口罩以及手套。
○ 人是无尘车间最大的污染源，每天代谢脱落10亿个皮肤微粒，都会对机器产生影响，必须穿入场服隔离。
○ 无尘车间内的空气要比外面干净10倍。
○ 完全装配好的EUV光刻机重量可达100吨。（恐怖）
○ 无尘车间里面的温度保持恒温21度。
○ 除了荷兰费尔德霍芬，ASML还在美国、台湾、韩国拥有无尘车间。
○ 费尔德霍芬所有无尘车间的面积已超过5万平米。
○ 运送一台ASML EUV光刻机需要六架飞机。
下面还有一段视频资料
供大家参考
光刻机这种高精度光机一体化设备，研发过程没有捷径可走的，精度只能一步步提升。而ASML独特的商业模式也难以复制。
来源：e-works
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来源：cmesgf 中国机械工程学会
原文链接：http://mp.weixin.qq.com/s?__biz=MzA4MTQxOTQzMw==&mid=2650275306&idx=1&sn=dcafed3e6c92a3297225e97c4c817145&chksm=8796102cb0e1993ae9f731f419979ccd036809122f97c6964aad6acad577efe396a471688c7c&scene=27#wechat_redirect
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