镍铬薄膜

科技工作者之家 2020-11-17

镍铬薄膜是指它是最常用的电阻薄膜。

简介镍铬薄膜是指它是最常用的电阻薄膜。

特点具有电阻温度系数小、稳定性高、噪声小、制作简单等优点。

分类镍铬电阻薄膜大致可分为两类。

(1)纯镍铬薄膜,即用Ni-20Cr块状材料制得的薄膜。蒸发用块状Ni-20Cr含金的性能为:电阻率108Ω. cm,电阻温度系数为85~120ppm/C ;熔点1400 C,线膨胀系数为1.4X10-6/C。这种薄膜的结构和性能依赖于镀膜方法和镀膜工艺参数、热处理条件等。通过控制蒸发工艺参数,可使薄膜中的镍含量得到最佳成分,电阻温度系数最小可达10ppm/C以下;

(2)改性镍铬薄膜,在NiCr材料中添加Al,Si,Au,Au及O2等元素制得的改性镍铬薄膜,能使方阻扩大,稳定性提高,电阻温度系数减少。加入铝,对降低电阻温度系数和提高稳定性极为明显1。

制备方法镍铬薄膜的制备方法常用的是电阻真空蒸发法,也可用溅射等方法。

应用镍铬薄膜特别适用于中阻值的精度薄膜电阻器2。

本词条内容贡献者为:

邱学农 - 副教授 - 济南大学

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