电弧等离子射流反应沉积

电弧等离子射流反应沉积是指利用电弧等离子体射流的高能环境进行化学反应制备涂层或新材料的工艺方法。主要设备是电弧等离子喷枪，其阴极为钨棒，阳极为与阴极同轴的水冷铜喷嘴。喷枪通常装在真空室内。

简介电弧等离子射流反应沉积是指利用电弧等离子体射流的高能环境进行化学反应制备涂层或新材料的工艺方法。

应用设备主要设备是电弧等离子喷枪，其阴极为钨棒，阳极为与阴极同轴的水冷铜喷嘴。喷枪通常装在真空室内1。

反应过程工作时，氮或氮等气体送入放电室，在两电极之间施加电盆，引燃放电，就能产生高温高速等离子体射流。

制备方法当制备金刚石膜时，采用射流反应工作模式，是将碳源物质通入喷枪或射流中，通过热分解反应，形成金刚石膜。由于在电弧等离子体中离化率高、活性粒子浓度大，使金刚石膜生长速率高达1mm/h。这种方法还可用于多种材料制备。另一种方法是蒸发反应。在喷枪出口下部放一坩埚，内装金属料。在坩埚和喷枪间加上正电压，将等离子体中的电子引向增祸，熔化蒸发物料，并使其蒸汽电离。在等离子喷枪中通入反应气体，就能够以离子形态与物料蒸汽离子反应，生成各种化合物。这种工艺既能成膜，又能制粉，还能制备超细纤维和晶须2。

本词条内容贡献者为:

邱学农 - 副教授 - 济南大学