角栅距

角栅距是光栅盘或圆光栅的光栅刻线间距。光栅在制造过程中，由于加工误差可能导敛光栅的刻线不准确，角栅距直接关系光栅的计量精度1。

误差分析光栅在制造过程中，由于加工误差可能导致光栅的刻线不准确：光栅栅线误差包括单周期误差、刻线累积误差和刻线清晰度3个方面，

单周期误差是指光栅相邻两刻线之间的距离与光栅常数的差。通常单周期误差是在光栅制造过程中由机床及工具的随机振动引起的。

刻线累积误差是指在较大的范围内，刻线间距的平均值与标称光栅常数的差值。这种误差通常是由光栅制造机床的长周期运动误差及制造时温度等环境因素的变化引起的。

刻线清晰度是指刻线边沿的直线度与清晰平整程度。由于蚀刻刀具或掩膜的作用，光栅刻线边沿可能出现弯曲或毛刺等现象1。

光栅盘光栅盘是一个玻璃圆盘，在圆盘的不同直径位置上刻有零位光栅、主光栅和通圈。主光栅是在整个圆周上排列许多等间隔的透光与不透光的刻线。每个刻线间隔表示一个角度增量，即分辨力。零位光栅是在扇形区内按一定规律排列若干条不等间隔的透光和不透光相间的刻线。通圈是在整个圆周都透光。

零位光栅的采用，使得增量式编码器有了坐标零点，改善了其使用性能。全亮窗与光栅盘的通圈在位置上相对应，使产生的信号作参考用。光栅盘与指示光栅共同组成光栅付，它们相对运动，在平行光的照明下取出莫尔条纹2。

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李航 - 副教授 - 西南大学