硅化铂探测器

硅化铂探测器是指利用铂硅肖特基势垒和内光电效应将入射的红外辐射转变成电信号的器件。又称硅化铂肖特基势垒探测器。

简介硅化铂探测器是指利用铂硅肖特基势垒和内光电效应将入射的红外辐射转变成电信号的器件。又称硅化铂肖特基势垒探测器1。

用途主要用于中、短波红外辐射的探测。

构造它的构造和工艺原理是在P型硅材料上沉积一层厚度约2nm的铂金属层，金属铂和半导体硅之间形成肖特基势垒1。

原理当能量小于1.1cV(硅的禁带宽度)的光子透过硅衬底入射到硅化铂上时，会激发出电子,部分激发电子会越过肖特基势垒述人硅内，形成信号电荷。

工作环境硅化铂探测器在77K下工作、响应截止波长为5.6μm，量子效率很低仅为1%左右，常采用光学谐振腔结构提高器件的响应率。硅化铂探测器不单个使用，常做成硅化铂焦平面阵列2。

现状由于制造工艺主要是硅器件工艺，且工艺成熟,所以容易做成大面阵，响应均匀性好，且成品率高，是可实用的最大红外焦平面阵列3。

本词条内容贡献者为:

胡建平 - 副教授 - 西北工业大学