科普新知丨带你走进“光刻机”

来源：浦东科协

光刻机，被称为现代光学工业之花，制造难度非常大，全世界只有少数几家公司能够制造。其中最先进的型号售价高达7000万美金。用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板，当前，国内所需的高端光刻机完全依赖进口。

一颗小小的芯片上布满了密密麻麻的集成电路，其厉害之处就是这些电路微小到我们根本无法想象。而制造它们，“光刻机”是绕不开的终极神器。可以说，没有光刻机就没有芯片。在高端光刻机市场，荷兰ASML的光刻机一家独大。今天我们来看看光刻机的庐山真面目吧。

光刻机的工作原理

利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光，光刻胶见光后会发生性质变化，从而使光罩上的图形复印到薄片上，从而使薄片具有电子线路图的作用。正如照相机拍摄照片是将影像印在底片上，而光刻机是将电路图和其他电子元件印在薄片上。

虽然这些年我国在光刻机领域取得了不少进展，但总体来说，国内外技术依旧有15到20年的差距。近两年来，我国不断出台新政策支持行业发展，如《中国制造2025》《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》等，都将长期利好行业发展。希望我国的科技企业、科学家们能乘着这波政策东风，尽快掌握高端光刻机制造技术，造福我国经济社会发展。