台媒：ASML没卖EUV给中芯，台厂优势剩多久？学术资讯

来源：半导体智库

来源：满天芯

日前，大陆晶圆代工龙头中芯国际传出获得美方出货许可，可以与含有美国技术的半导体生产设备商业务往来，甚至连与荷商阿斯麦（ASML）签下12亿美元合约，购买半导体生产设备，让中芯国际8吋晶圆产能恢复正常运作获得市场期待。

不过，外媒揭露，其实这些美企目前都还没拿到出货许可，ASML也强调，这笔合约所提到的是深紫外光(DUV)机台，而非外界期待的极紫外光( EUV)曝光设备。

据《路透》上周报导指出，包括应材、科林等半导体生产设备供应商都有向美国政府提出出货许可申请，但实际上，很多美企的出货许可都还在审核，且速度非常缓慢，这与亚系外资报告内容所提到获得美国出货许可相差甚远。

中芯国际去年川普政府还没下台前，遭到美国商务部列入实体清单，加上川普11月底提出的投资禁令，让中芯国际被许多国际性的指数公司剔除成分股名单，让中芯国际也失去了大陆以外的投资资金来源。

报道指出，美国业界呼吁，由于中芯国际预估有与美企业务往来的商业价值有50亿美元，这会使得美企利益受损。

就《路透》目前的报导来看，这些美企有少数已经能提供相关产品，加上《日经亚洲评论》先前报道，大陆正在大量收购市场上的二手半导体生产设备，加上中芯国际已经握有14纳米制程量产技术，北京当局也与中芯国际合作，在于北京兴建12 晶圆代工厂计划动工，第1期将斥资74亿人民币，目前政策也提供28纳米制程以上10年免税优惠，让中芯国际生产芯片无后顾之忧。

至于中芯国际副董事长蒋尚义当时被拉拢进入决策高层，主要就是期待能获得生产先进制程至关重要的EUV设备，包括全球晶圆代工龙头台积电与其竞争对手三星电子，都依靠EUV光刻机在7纳米以下制程获得巨大进展，等同谁拥有EUV光刻机，就掌握先进技术发展的关键。

对此，ASML解释，目前与中芯国际签订的12亿美元合约，半导体生产设备为DUV机台。

中芯国际公告，在2020年3月16日至2021年3月2日期间，与ASML签订批量采购协议，购买约12亿美元半导体生产设备。由于与ASML的采购协议已经到期，该公司在今年2月1日重新签订契约，将原定于2018年1月1日至2020年12月31日期间，延长至2021年12月31日。

台积电在生产第一代7纳米制程(N7)使用的深紫外光(DUV)曝光机，透过DUV的193nm浸润式ArF微影生产。业界人士指出，DUV机台透过液体浸润多重曝光后虽能缩小线距，但要做到与EUV的13.5纳米波长等效，也就是达到台积电7纳米制程的良率与成本，恐怕还有一大段距离，但这已经是面对美国禁令下可以采取的手段。

另外加上在前台积电高层蒋尚义、梁孟松等人重整中芯国际管理方式，中芯国际就算建厂进机可能还要等到明年才会投入产能，这已经协助大陆半导体自主化跨出很大一步。

而据《MoneyDJ》报导，半导体设备主管透露，中芯国际若想要在既有厂区扩产，从设备建置到验证都需要9 个月到1年，盖新厂更要耗费2~3 年，短期不太可能舒缓全球半导体需求紧绷局势。