重磅!国际先进水平!华虹半导体90nm BCD工艺实现规模量产!

科技工作者之家 2021-06-07


国产半导体厂商正在一步步追赶国际先进水平,日前华虹半导体宣布,该公司推出的90nm BCD工艺已经在华虹无锡12英寸生产线已实现规模量产。

华虹指出,90nm BCD工艺具备性能高、核心面积较小等优势,拥有更佳的电性参数,并且得益于12英寸制程的稳定性,良率优异,为数字电源、数字音频功放等芯片应用提供了更具竞争力的制造方案。

我们知道,目前台积电的3纳米都快试产了,一说到90纳米,就认为是20年的工艺了,早已落后了。不过今天说的是90nm BCD工艺,这可不是常规工艺。这个工艺的重点是BCD——BIPOLAR-CMOS-DMOS,是ST意法半导体在80年代发明的功率芯片技术。能做到90纳米已经可以挤进属于世界先进行列了!

BCD是一种复杂的硅芯片制造工艺,每种BCD工艺都具备在同一颗芯片上成功整合三种不同制造技术的优点,包括用于高精度处理模拟信号的双极晶体管,用于设计数字控制电路的CMOS(互补金属氧化物半导体)和用于开发电源和高压开关器件的DMOS(双扩散金属氧化物半导体)。

ST意法目前依然是全球领先的BCD工艺制造商,35年来生产了500万片晶圆,售出400亿颗芯片,仅2020年就售出近30亿颗芯片,工艺发展了十代了,此前主要是350nm、180nm、110nm等,最新量产的十代工艺也是90nm BCD。

从这一点上来看,华虹的90nm BCD工艺确实是该领域的先进工艺,技术优势明显,而中芯国际等国内其他代工厂也在开发90nm BCD工艺,华虹的进度也是领先的。


什么是BCD?  (以下内容转载自:芯思想)

BCD(Bipolar-CMOS-DMOS)技术是一种单片集成工艺技术,能够在同一芯片上制作Bipolar、CMOS和DMOS器件,1985年由意法半导体率先研制成功。随着集成电路工艺的进一步发展,BCD工艺已经成为PIC的主流制造技术。

经过35年的发展,意法半导体开发了一系列对全球功率IC影响深远的BCD工艺,如BCD3(1.2微米)、BCD4(0.8微米)、BCD5(0.6微米)。 

意法半导体目前提供三种主要的BCD技术,包括BCD6(0.35微米)/BCD6s(0.32微米)、BCD8(0.18微米)/BCD8s(0.16微米和BCD9(0.13微米)/BCD9s(0.11微米),其第十代BCD工艺将采用90纳米。 

BCD6和BCD8还提供SOI工艺选项。 

据悉,意法半导体从1985年BCD推出工艺,至今已经过去35年并经历了九次技术迭代,产出500万片晶圆,售出400亿颗芯片,仅2020年就售出近30亿颗芯片,第十代BCD技术即将开始投产。

来源:EETOP




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来源:gh_8d3fca5f0612 半导体智库

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