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介绍了激光三角法高度测量技术和基于数字信号处理器DSP与线阵CCD的激光高度测量系统。采用比例恒流源和镜像恒流源组合，设计了输出功率稳定可调的激光二极管驱动电路和线阵CCD的驱动电路，借助DSP定时器周期调节灵活的优点，方便地调节光积分时间来提高信号质量。针对光刻工艺中不同的测量对象表面的光学特征，自动进行激光二极管增益控制和光积分时间调节，提高测量的适应性和测量效率。
关键词：
激光三角法，线阵CCD，数字信号处理器，光刻机
0 引言：
光刻工艺是大规模集成电路生产中的关键工艺。为了在晶圆上获得高分辨率的光刻图形，光刻设备必须尽可能精确地将晶圆平行放置到镜头的焦平面上。
如果晶圆在工件台上的高度出现变化，会导致聚焦偏差，引起束斑或光斑增大、加工的线条模糊，曝光图形出现拼接缺陷等问题[1]。
所以高度测量系统要能够精确测量，能够对不同的晶圆厚度、胶层厚度或者温度和气压所引起的聚焦位置变化等因素的影响进行补偿[2]。
来源：ChinaAET 电子技术应用ChinaAET
原文链接：http://mp.weixin.qq.com/s?__biz=MzA4NjQwNjMwOA==&mid=2650496973&idx=3&sn=87ee949b9102925d39de2dc92df412a9
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