国产减薄机批量进产线

张曼 2022-04-07

今年以来，北京经开区企业北京中电科电子装备有限公司自主研发的国产高端 8/12 英寸晶圆减薄机订单不断，实现了批量化应用。目前已有 20 多台不同型号设备被用于集成电路材料加工、芯片制造、先进封装等工艺段的产品量产。

来源：北京中电科电子装备有限公司

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