一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构

• 摘要：

  一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构,所述的镜片偏心微调机构安装在镜片框及镜筒上,镜片框位于镜筒内,并与镜筒之间有一定的间隙,保证镜片的位移调整量,所述的镜片偏心微调机构包括调微头、滑块、导向柱、导向柱底座、弹性垫;调微头安装在镜筒中并与物镜光轴垂直,弹性导向机构安装在镜片框的侧面,导向柱底座与镜片框的接触面为弹性导向机构;滑块镶嵌在导向柱底座上的导向柱中.本发明能够分别对投影光刻物镜中的各个镜片进行精确的偏心调整,以达到镜片中心偏公差的要求,提高了各透镜对轴心装调精度,克服了因镜片偏心对像质产生不良影响,保证像质和焦面稳定,保证了光刻质量.

• 专利类型：

  发明专利

• 申请/专利号：

  CN200910237660.0

• 申请日期：

  2009.11.13

• 公开/公告号：

  CN101710204A

• 公开/公告日：

  2010-05-19

• 发明人：

  王建 胡松 赵立新 邢薇

• 申请人：

  中国科学院光电技术研究所

• 主分类号：

  G02B7/02(2006.01)I

• 主权项：

  一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构,其特征在于:所述的镜片偏心微调机构安装在镜片框(6)及镜筒(8)上,镜片框(6)位于镜筒(8)内,并与镜筒(8)之间有一定的间隙,保证镜片的位移调整量,所述的镜片偏心微调机构包括调微头(1)、滑块(2)、导向柱(3)、导向柱底座(4)、弹性垫(5);调微头(1)安装在镜筒(8)中并与物镜光轴向垂直,弹性垫(5)安装在镜片框(6)的侧面,导向柱底座(4)与镜片框(6)的接触面为弹性垫(5);滑块(2)镶嵌在导向柱底座(4)上的导向柱(3)中.