一种针对X射线龙虾眼物镜的装调装置及其应用

• 摘要：

  本发明涉及一种针对X射线龙虾眼物镜的装调装置及其应用,该装调装置基于色散共焦检测,包括镜片装配单元、位移传感单元及垫片研磨单元,镜片装配单元包括用于放置待装调镜片的物镜底座,以及带动物镜底座上下、左右、前后移动的六维电控位移平台;位移传感单元包括一维调节平台、与一维调节平台连接的位移传感器定位支架、以及夹持在位移传感器定位支架上的色散共焦位移传感器;垫片研磨单元包括U型支架、设在U型支架上的气浮轴,以及与气浮轴连接的研磨头.与现有技术相比,本发明通过色散共焦位移传感器对镜面的扫描,可以实现高精度的镜片装调,也能够对已经安装完毕的物镜进行定标,克服了原先龙虾眼物镜间隔难以控制的难点.

• 专利类型：

  发明专利

• 申请/专利号：

  CN201510152242.7

• 申请日期：

  2015.04.01

• 公开/公告号：

  CN104819828A

• 公开/公告日：

  2015-08-05

• 发明人：

  穆宝忠 徐捷 王新 谢青 伊圣振

• 申请人：

  同济大学

• 主分类号：

  G01M11/02(2006.01)I,G,G01,G01M,G01M11

• 分类号：

  G01M11/02(2006.01)I,G01N23/04(2006.01)I,G,G01,G01M,G01N,G01M11,G01N23,G01M11/02,G01N23/04

• 主权项：

  一种针对X射线龙虾眼物镜的装调装置,其特征在于,该装调装置包括:镜片装配单元:包括用于放置待装调镜片的物镜底座(5),以及与物镜底座(5)连接的六维电控位移平台(4),六维电控位移平台(4)带动物镜底座(5)上下、左右、前后移动;位移传感单元:包括位于六维电控位移平台(4)一侧的一维调节平台(3)、与一维调节平台(3)连接的位移传感器定位支架(2)、以及夹持在位移传感器定位支架(2)上的色散共焦位移传感器(1),所述的色散共焦位移传感器(1)通过光纤连接色散共焦位移计控制器,通过色散共焦位移计控制器控制色散共焦位移传感器(1);垫片研磨单元:包括位于六维电控位移平台(4)另一侧的U型支架(7)、设在U型支架(7)上的气浮轴(8),以及与气浮轴(8)连接的研磨头(9).