水溶液溶胶凝胶法制备多孔二氧化钒薄膜

• 摘要：

  本发明涉及一种水溶液溶胶凝胶法制备多孔二氧化钒薄膜,步骤如下:1)制备四价钒离子水溶液溶胶:在50‑80℃水浴条件下向超纯水中加入柠檬酸,溶解后加入V₂O₅,搅拌得到四价钒离子水溶液,再加入成膜剂,混合均匀得到四价钒离子水溶液溶胶,陈放一天后得到相应凝胶;2)制备多孔二氧化钒薄膜:在干净的基片表面涂布步骤1)所得凝胶,干燥后得到胶膜,将胶膜置于真空管式炉中,抽真空后通入惰性气体,在惰性气氛下热处理得到具有半导体‑金属相变特性的VO₂薄膜.

• 专利类型：

  发明专利

• 申请/专利号：

  CN201610200909.0

• 申请日期：

  2016.03.31

• 公开/公告号：

  CN105779975A

• 公开/公告日：

  2016-07-20

• 发明人：

  赵修建 何莜嘉 刘保顺

• 申请人：

  武汉理工大学

• 主分类号：

  C23C18/12(2006.01)I,C,C23,C23C,C23C18

• 分类号：

  C23C18/12(2006.01)I,C,C23,C23C,C23C18,C23C18/12

• 主权项：

  水溶液溶胶凝胶法制备多孔二氧化钒薄膜,其特征在于,步骤如下:1)制备四价钒离子水溶液凝胶:在50‑80℃水浴条件下,向超纯水中加入柠檬酸,完全溶解后,再加入V₂O₅,搅拌得到四价钒离子水溶液,加入成膜剂,混合均匀得到四价钒离子水溶液溶胶,陈放一天后,得到相应的凝胶;2)制备多孔二氧化钒薄膜:在干净的基片表面涂布步骤1)所得凝胶,真空干燥后得到胶膜,将胶膜置于真空管式炉中,抽真空后通入惰性气体,在惰性气氛下热处理得到具有半导体‑金属相变特性的VO₂薄膜.