一种基于有机场效应晶体管的湿度传感器及其制备方法

• 摘要：

  本发明公开了一种基于有机场效应晶体管的湿度传感器及其制备方法,所述湿度传感器的结构从下到上依次包括:衬底、栅电极、栅极绝缘层、有机半导体层以及源漏电极;所述有机半导体层是由靛蓝或靛蓝衍生物的一种或多种与细菌纤维素纳米纤维混合制成,其中细菌纤维素纳米纤维的质量百分数为3％~20％.本发明利用细菌纤维素纳米纤维的高度取向性,精确控制有机半导体层薄膜的形貌和有机材料晶粒的大小,增强半导体薄膜对水分的吸附,同时有效提升电子器件的机械强度和柔韧性;此外,靛蓝及靛蓝衍生物以及细菌纤维素纳米纤维具有良好的生物相容性和可降解性,能够有效解决电子垃圾造成的生态污染问题,可广泛应用于便携可穿戴式柔性传感器领域.

• 专利类型：

  发明专利

• 申请/专利号：

  CN201610548122.3

• 申请日期：

  2016.07.13

• 公开/公告号：

  CN106198635A

• 公开/公告日：

  2016-12-07

• 发明人：

  于军胜 范惠东 韩世蛟 郑华靖

• 申请人：

  电子科技大学

• 主分类号：

  G01N27/00(2006.01)I,G,G01,G01N,G01N27

• 分类号：

  G01N27/00(2006.01)I,G,G01,G01N,G01N27,G01N27/00

• 主权项：

  一种基于有机场效应晶体管的湿度传感器,它包括从下到上依次叠加的衬底、栅电极、栅极绝缘层、有机半导体层、源电极和漏电极,其特征在于:所述有机半导体层是由靛蓝或靛蓝衍生物的一种或多种与细菌纤维素纳米纤维混合制成,所述有机半导体层中细菌纤维素纳米纤维的质量百分数为3％~20％.