一种电镜原位加热装置结合焊料的纳米焊接方法

• 摘要：

  本发明公开了一种电镜原位加热装置结合焊料的纳米焊接方法.本发明焊接过程均在SEM??FIB中进行,利用位于扫描电镜腔室内的原位加热装置对焊接部位进行加热,同时借助离子束清洗焊接区域,去除纳米材料表层的杂质(如焊料表面氧化物,碳类化合物,有机物等),只使焊料变成熔融状态,而对母体材料无损伤,通过保温一定时间,熔融焊料与同样被加热的母体材料发生持续且强烈的扩散作用,最终实现焊接纳米图案的目的.本发明可精确控制加热温度,只使低熔点的焊料发生融化,而对母体材料无损伤,对于焊接高熔点的氧化物半导体纳米材料具有显著的优势.该焊接方法可实时观测整个焊接过程,可控性极强且方便快捷,可同时实现多处纳米图案的焊接,效率高.

• 专利类型：

  发明专利

• 申请/专利号：

  CN201611107702.5

• 申请日期：

  2016.12.06

• 公开/公告号：

  CN106392233A

• 公开/公告日：

  2017-02-15

• 发明人：

  彭勇 张悬 郑修军 张宏 马鸿斌 关超帅 张军伟 薛德胜

• 申请人：

  兰州大学

• 主分类号：

  B23K1/005(2006.01)I,B,B23,B23K,B23K1

• 分类号：

  B23K1/005(2006.01)I,B,B23,B23K,B23K1,B23K1/005

• 主权项：

  一种电镜原位加热装置结合焊料的纳米焊接方法,其特征在于包括如下步骤:1)利用纳米操纵器将纳米焊料输送至母体纳米材料的待焊接部位;2)将承载有母体纳米材料的硅片与电镜原位加热装置中的加热板紧密接触,3)利用SEM??FIB电镜中的离子束清洗待焊接部位,清除焊接区域表面的杂质;4)在真空的扫描环境中,加热加热板,使焊料周围的温度达到预设温度并保温,所述的预设温度高于焊料的熔点且低于母体材料的熔点,焊料完全融化,母体材料无损伤,通过熔融焊料与母体材料的扩散作用达到焊接的目的.