一种气氛熔盐提拉炉

• 摘要：

  本实用新型公开了一种气氛熔盐提拉炉,包括熔炉,晶体生长机构、进/出气机构以及传动装置,其中晶体生长机构包括刚玉管、坩埚和籽晶杆.本实用新型通过进/出气机构使刚玉管内充入适合晶体生长的气体,另外通过传动装置控制籽晶杆在刚玉管内的垂直运动和圆周运动.由于本实用新型刚玉管中排除了水分和空气,充入适合晶体生长的气体,避免了因原料的氧化而造成的晶体不能生长问题,另外,本实用新型中籽晶杆可以同时做垂直运动和圆周运动,大大缩短了晶体生长的周期.本实用新型生长的晶体外观完整,结晶性能良好,使用简洁,操作方便.

• 专利类型：

  实用新型

• 申请/专利号：

  CN201921695393.7

• 申请日期：

  2019.10.11

• 公开/公告号：

  CN211142236U

• 公开/公告日：

  2020-07-31

• 发明人：

  涂朝阳 胡明远 朱昭捷 李坚富 王燕 游振雨

• 申请人：

  中国科学院福建物质结构研究所

• 主分类号：

  C30B15/00(2006.01),C,C30,C30B,C30B15

• 分类号：

  C30B15/00(2006.01),C30B15/20(2006.01),C30B29/12(2006.01),C,C30,C30B,C30B15,C30B29,C30B15/00,C30B15/20,C30B29/12

• 主权项：

  1.一种气氛熔盐提拉炉,其特征在于,包括: 熔炉,包括炉体以及设置在所述炉体顶部的炉盖; 晶体生长机构,包括刚玉管、坩埚和籽晶杆,所述刚玉管垂直设置在所述炉体内,所述坩埚设置在所述刚玉管内,所述籽晶杆垂直设置在所述刚玉管内,并延伸至刚玉管外部,所述晶体生长机构用于提供晶体生长的密闭环境; 进/出气机构,设置在所述刚玉管外部并延伸至所述刚玉管内,用于除去所述刚玉管内的水分和空气; 传动装置,设置在所述熔炉外,用于控制所述籽晶杆在所述刚玉管内的垂直运动和圆周运动. 2.根据权利要求1所述的气氛熔盐提拉炉,其特征在于,所述提拉炉还包括炉体支架,设置在所述炉体的底部,用于支撑所述熔炉. 3.根据权利要求1所述的气氛熔盐提拉炉,其特征在于,所述晶体生长机构还包括设置在所述炉体内的绕丝管,所述绕丝管套设在所述刚玉管外,用于提高所述刚玉管内的温度. 4.根据权利要求1所述的气氛熔盐提拉炉,其特征在于,所述晶体生长机构还包括热电偶,所述热电偶的工作端设置在所述炉体的侧壁内,所述热电偶的自由端延伸至所述炉体外侧. 5.根据权利要求1所述的气氛熔盐提拉炉,其特征在于,所述刚玉管的上下两端分别设置第一密封盖和第二密封盖,所述籽晶杆穿过所述第一密封盖垂直设置在所述刚玉管内. 6.根据权利要求1所述的气氛熔盐提拉炉,其特征在于,所述进/出气机构包括设置在所述刚玉管相对两端的进气管和出气管,以及设置在所述刚玉管一端的波纹管,所述波纹管连接抽真空装置. 7.根据权利要求5所述的气氛熔盐提拉炉,其特征在于,所述传动装置包括提拉电机,丝杆,滑动轨道,第一横臂和晶转电机; 所述丝杆与所述提拉电机驱动轴连接,所述第一横臂设置有孔,所述第一横臂上的孔穿过所述丝杆,所述第一横臂的一端滑动连接在所述滑动轨道上,所述第一横臂的另一端固定连接所述晶转电机,所述晶转电机的驱动轴与所述籽晶杆连接; 所述提拉电机驱动所述丝杆转动,所述丝杆转动带动所述第一横臂做垂直运动,所述第一横臂带动所述晶转电机在所述滑动轨道上垂直运动,所述晶转电机带动籽晶杆在所述刚玉管内垂直运动. 8.根据权利要求7所述的气氛熔盐提拉炉,其特征在于,所述晶转电机上连接有夹具,所述夹具固定连接所述籽晶杆. 9.根据权利要求7所述的气氛熔盐提拉炉,其特征在于,所述传动装置还包括底座,所述提拉电机设置在所述底座上. 10.根据权利要求7所述的气氛熔盐提拉炉,其特征在于,所述滑动轨道上还固定设置有第二横臂,所述第二横臂上活动连接所述第一密封盖.