复合电阻薄膜

复合电阻薄膜是指由多种不同薄膜叠合构成的电阻薄膜。

简介复合电阻薄膜是指由多种不同薄膜叠合构成的电阻薄膜。

作用这种薄膜可克服单层高阻或低阻薄膜的电阻温度系数大，稳定性差的缺点。

原理复合电阻薄膜利用复合膜间的TCR可以相互补偿，因而具有良好的性能1。

内容复合电阻薄膜主要有:

（1） NiCr一Ta2N复合薄膜。将NiCr膜与Ta2N膜进行复合，NiCr膜厚度为5~100nm,Ta2N膜厚度为10~100nm。可制得TCR小于士25ppm/C的低中阻薄膜，而且不需要保护层即可得到高的稳定性;

（2）CrSi- NiCr复合薄膜。在CrSi低层薄膜上复合NiCr薄膜，可制得低TCR,高稳定性的高阻薄膜;

（3）CrSiCo-NiCr复合薄膜。在CrSiCo底层薄膜上复合NiCr膜，可制得TCR为±25ppm/C的复合膜。用真空蒸发法制作复合膜，蒸发CrSiCo膜用的原料为高纯Cr,Si,Co粉的混合物。控制CrSiC。薄膜方阻为1.5kΩ/口。

原料蒸发NiCr膜用的原料为高纯Ni-20Cr，控制NiCr膜方阻为1 00Ω/口。复合电阻薄膜用于要求低电子温度系数的薄膜电阻器2。

本词条内容贡献者为:

邱学农 - 副教授 - 济南大学