电化学气相沉积

科技工作者之家 2020-11-17

电化学气相沉积法(EVD)是在CVD基础上进一步制备致密膜的一种方法。这种方法可在多孔载体上覆盖一层薄的固体氧化物电解质。如在粗孔载体上覆盖一层陶瓷膜顶层，然后用EVD法沉积，可制得膜厚