气相腐蚀

气相腐蚀是指（Vapor corrosion）MCVD法制造坯棒过程中，通过局部加热和氟气的腐蚀使坯棒具有异形结构的技术。常用于制造领结型偏振光纤。

工艺流程工艺程序一般为：一根石英基管装在车床上，用常规MCVD工艺沉积折射率与二氧化硅玻璃匹配的低掺杂F和P2O5的包层材料，接着沉积高掺杂的硼硅酸盐玻璃。车床停止旋转，在管子两侧对称地装上灯头，此灯头沿管子周围提供局部加热，当两热源沿管子平行连续移动时通入一种释放氟气的原料，例如氮稀释的SF6，灯头往返数次直到在硼硅酸盐玻璃层中腐蚀出两条相对的凹槽，再使管子旋转，沉积包层和掺GeO2的二氧化硅芯层，收棒时管子内保持弱正压以保证芯的圆度。1

优点气相腐蚀方法的优点有：

①可使纤维横断面接近最佳领结型结构；

②一步完成，不必从车床上取下坯棒加工；

③棒内最大应力在最后成棒时才形成，减小了棒破裂的危险性。

设备玻璃灯工车床（glass work lathe）制造光纤预制件的主要设备。玻璃灯工车床也泛指对玻璃制品进行焊接或其他热加工的特殊车床。与普通机械加工车床不同之处在于具有可以夹持石英管同步旋转的夹盘和可来回移动的火焰灯具。旋转运动与往复运动都可以微调，各部分尺寸精度较高，光纤预制熔炼车床一般都带有测径传感器、石英管几何尺寸控制器及供气流量控制等精密部件。

玻璃灯工车床主要由一个铸铁床架、一对同心等速运动的转子、传动机构和火焰加热装置等构成。转子上装有卡盘，工作时石英管就夹持在夹盘的中心孔内，用两个同样的传动机构带动两个夹盘使之同步旋转，速度可调。铸铁床架上还附有安装灯架的拖板，一般采用火焰灯具，拖板与车床轴平行移动，速度可调。

本词条内容贡献者为:

刘军 - 副研究员 - 中国科学院工程热物理研究所