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科技工作者之家 2021-03-18
记者17日从中国电科获悉,该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。
离子注入机是芯片制造中的关键装备。据了解,在芯片制造过程中,需要掺入不同种类的元素,按预定方式改变材料的电性能。这些元素以带电离子的形式,被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中。离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。
作为国内唯一一家集研发、制造、服务于一体的离子注入机供应商,电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技术,自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,累计形成核心发明专利413项,实现我国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展,有效缓解我国芯片制造领域断链、短链难题。
电科装备有关负责人表示,下一步该企业将瞄准高端,紧跟先进工艺发展,加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。
来源:科技日报
原文链接:http://digitalpaper.stdaily.com/http_www.kjrb.com/kjrb/html/2021-03/18/content_464421.htm?div=-1
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