研究前沿:Nat. Mater.新闻与观点-超薄黑磷的规模化拓展

科技工作者之家 2021-08-28

编者按:近日法国波尔多大学光学研究所Etienne Gaufres在Nature Materials上发表新闻与观点,阐释了厘米级的少层黑磷薄膜,已通过脉冲激光沉积在云母基板上完成生长, 这些薄膜的高结晶质量和均质性,有望用于新器件的应用。

自从二十年前,第一次从石墨中分离出石墨烯片以来,二维 (2D) 材料的视野,涉及到层状“旧”材料(如硫属化物)的剥离形式,以及稳定2D 材料,快速扩张到非层状材料。在二维限制下,这种材料的多样性,产生了跨越金属、半导体和电介质领域的物理特性。在这种情况下,自 2014 年以来,剥离黑磷 (BP) ,作为一种有前途的电子和光子学分层半导体,引起了巨大的兴趣。它结合了其他 2D 材料中,非常罕见的两种非常理想的物理特性:通过增加层数,可以从可见光波长调节到红外波长的直接带隙,以及非常高的电荷载流子迁移率(~1,000 cm2 V–1 s– 1 个孔)。

然而,脱落的 黑磷BP, 在应用领域的传播,可能受到两个主要内在限制的阻碍。第一个是 ,黑磷BP 在环境条件下会自然光氧化,特别是当同时暴露于水分和光时。在超薄黑磷 BP 的情况下,这会导致结构和物理特性的快速,且不可修复的退化。尽管如此,受微电子行业已在类似情况下使用的封盖方法的启发,钝化技术的最新进展,正在消除 BP 退化。为了使 BP 的集成在可靠性标准方面,向前迈进一步,还必须解决缺乏以自下而上的方式,在晶圆级合成薄层的有效策略的问题。现在,在 Nature Materials 上,Zehan Wu 和同事们( https://doi.org/10.1038/s41563-021-01001-7)展示了具有高结晶度和均匀性的厘米级 2D黑磷BP 样品的生长,这使得场效应晶体管 (FET) 阵列的直接制造成为可能。

正交晶系的黑鳞BP 不是自然形成的,具有褶皱晶格,需要在正常条件下,不优先形成的活化元素磷 (P4) 前体的存在下进行生长。自 19149 年布里奇曼首次合成以来,大多数 BP 晶体是通过在高压 (>1.2 GPa) 和高温 (>200 °C) 下,对高度易燃的白磷或红磷同素异形体,进行微妙的转变而产生的。在 350°C 以上,观察到 BP 结构的生长稳定性,表明热力学稳定性令人满意,不应与上述环境不稳定性混淆。最近开发了基于 P2 到 P4 中间体化合物的替代技术,例如汞催化方法、基于铋助焊剂的方法,和使用锡基中间体化合物的化学蒸汽传输方法。这种方法只能生产块状晶体,远不足以满足电子和光子学等器件应用的要求。迄今为止,高质量 BP 薄层的制备,主要基于自下而上的方法,例如从块状晶体中机械或化学剥离,使薄层的尺寸相对较小:约 5-50μm2。最近,采用化学气相沉积技术等自下而上的方法,来生长几层 BP,但只能获得横向尺度高达数十微米的薄片。这可能是由于与 P 原子的 sp3 杂化相关的表面能相对较高,这阻碍了 BP 层的横向生长。

利用紫外脉冲激光,在高真空下蒸发靠近云母衬底的块状 BP 晶体,实现了 BP 超薄层的大规模生长(见图1)。衬底表面附近的激光激活等离子体云内,其高能高温和高压条件,促进了 BP 簇的形成和传输。此外,对激光脉冲和基板温度的精确控制,打开了一个热力学窗口,促进了 BP 薄片的单向生长和簇合并。对于诸如双层、三层和四层 BP 等薄膜,~1.3 Å s–1 的生长速率,能够显着控制均匀性和明确定义的层数。这些 BP 薄层显示出均匀的晶体取向,并且在厘米级样品上没有清晰的晶界,即使对于超薄厚度也是如此。正如 Wu 及其同事所提到的,在沉积前新切割的云母衬底表面的原子平坦度和惰性,似乎在 BP 的外延生长中也起着关键作用。

图1 通过脉冲激光沉积,在云母基底上进行大规模生长黑鳞BP的示意图。气相中的生长BP簇包含元素磷原子 (P4)。

为了展示潜在的应用,Wu 及其同事直接在晶圆上制造了 FET 阵列。这些器件表现出吸引人的电气性能,不仅可以与之前报道的微米级 BP 相媲美,而且在整个薄膜上的厘米级数字也非常均匀,为工业界基于 BP 的半导体集成电路奠定了关键阶段 。这项工作无疑是,推动二维材料,及高质量超薄黑磷的异质结构的研究。

另外,该方法基于云母基板,在设备行业中并不常用。因此,这里介绍的方法假设大型和超薄 BP 层从云母模板到设备的干净转移。在更标准的晶圆上成功完成此类合成,应该是 BP 研究的另一项成就。

文献链接:https://www.nature.com/articles/s41563-021-01059-3

https://doi.org/10.1038/s41563-021-01059-3

本文译自“Nature”。

来源:gh_d06fa4463e84 今日新材料

原文链接:http://mp.weixin.qq.com/s?__biz=MzkwMTEzMjE5OQ==&mid=2247496121&idx=4&sn=bcf120267dccb675602bafa5b03ae6a3

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