离子铣技术

离子铣技术（Ion milling technology）是指利用离子束对固体表面进行铣加工的技术。离子铣技术的优点是表面加工精度非常高，表面损伤小。离子铣技术可以代替光刻工艺，用来刻蚀器件或电路图形，它不仅刻蚀精度高，而且不会造成沾污或遗留杂质。但离子铣床比光刻机昂贵。1

离子铣装置离子铣技术是利用离子束对固体表面进行铣加工的技术。离子铣装置如下图所示。

工艺步骤离子铣加工方法，其特征在于，包括：

剖面制作工序，其中，使试料台以相对于离子束源照射的离子束的光轴垂直或大致垂直的倾斜轴为中心摆动，使保持于该试料台、且一.部分被掩膜遮蔽而不被离子束照射的试料的加工面，沿着垂直于由离子束的光轴和倾斜轴规定的面的面摆动，同时制作由所述掩膜规定的、沿着离子束的光轴的试料的加工面；

平滑化工序，其中，使保持于所述试料台的试料以垂直于由离子束的光轴和所述倾斜轴规定的而的轴为中心，在如下两个状态之间，沿着由离子束的光轴和倾斜轴规定的面摆动，从而使因实施所述剖面制作工序而在该试料的加工面上产生的筋状的凹凸平滑，其中一个状态是该试料的加工而朝向倾斜轴方向的、沿着离子束的光轴方向的面状态，另一状态是该试料的加工面在离子束的光轴方向上朝向所述离子束源侧倾斜的、所述加工面与离子束的光轴以低角度即0度至20度交叉的面状态。2

优点离子铣技术的优点是表面加工精度非常高，表面损伤小。离子铣技术可以代替光刻工艺，用来刻蚀器件或电路图形，不仅刻蚀精度高，而且不会造成沾污或遗留杂质。

本词条内容贡献者为:

张静 - 副教授 - 西南大学